안녕하세요? 오늘은 반도체 제조 공정에서 중요한 측정 항목들인 CD, OCD, DEPTH, THK에 대해 알아보도록 하겠습니다.반도체는 아주 미세하기 때문에 다양한 계측 방법을 통해서 파악이 필요한 data 들을 얻고 있습니다. 그럼 각각의 의미와 역할에 대해서 설명드리도록 하겠습니다. 1. CD (Critical Dimension)- CD는 반도체 공정 중 주어진 패턴의 핵심적인 치수를 사용되는 지표- 패턴의 너비, 높이, 간격 등과 같은 치수를 의미- CD 측정은 반도체 칩의 기능 및 성능에 중대한 영향을 미치고, 공정의 정확성을 평가하는데 중요한 역할- 전자적 혹은 광학적 방식을 통해 측정됨 2. OCD(Optical Critical Dimension)- OCD는 광학적인 기술을 활용하여 측정하는..
