안녕하세요? 반도체 마스터입니다. 오늘은 반도체에서 TEM에 대해 알아보도록 하겠습니다.TEM은 Transmission Electron microscope로서 투과전자 현미경이라고도 부릅니다. 분석 장비 중에 하나인데요. 반도체 공정에서 아주 필수적인 장비여서 오늘은 이 장비에 대해 좀 알아보도록 하겠습니다. TEM은 일단 아래와 같이 생겼습니다. TEM은 반도체 소자의 내부 구조, 결함 분석, 그리고 소재 특성을 연구할 수 있게 해주는 아주 강력한 도구인데요. 이 장비를 활용해서 엔지니어들과 연구원들이 미세 공정에서 발생하는 문제를 발견하기도 하고 해결하기도 합니다. TEM의 역할에 대해 알아보시죠. 크게 4가지로 볼 수 있을거 같습니다. 1. 나노구조 분석TEM은 원자 수준의 구조 분석이 가능해서 반..
