반도체 커패시터(MOM, MIM Capacitor)
안녕하세요? 오늘은 MOM, MIM Capacitor에 대해 알아보도록 하겠습니다. 저번 게시글에서 MOSCAP과 Polysilicon CAP에 대한 글을 작성했었는데, 사실 이름만 잘 생각해보면 구조에 대해서 쉽게 알 수 있어서 짧게 다루고 넘어가도록 하겠습니다.
MOM Capacitor(Metal-Oxide-Metal Capacitor)의 구조에 대해 말씀드리겠습니다.
1. 금속 층 : MOM Capacitor의 상부와 하부에는 전극으로 사용되는 금속 층이 존재합니다. 이 금속층을 통해 전하를 운반하고, 상하단의 금속에 전압이 가해졌을 때 Capacitance를 축적합니다.
2. 산화물층 : 금속 층 사이에는 산화물(ex. SiO2)이 있습니다. 절연체 역할을 합니다.
MOM Capacitor와 MOSCAP이 다른 점은 MOM에서는 반도체(Semiconductor)가 포함이 안되어있다는 점입니다. 이런 구조적 차이때문에 MOSCAP보다 품질 Factor가 좋기도 합니다. 또한 MOM Capacitor는 고주파 회로 설계에서 중요하게 쓰이고 RF 회로, 초고주파 응용 등의 회로에서 사용됩니다.
다음으로 MIM capacitor에 대해 알아보겠습니다.
MIM Capacitor는 Metal-Insulator-Metal Capacitor로 금속-절연체-금속의 구조로 되어있습니다. 이제 익히 아시다시피 Metal 두개의 상하부 전극을 통해 전극으로 사용하고 가운데에 절연체인 insulator가 있는 구조입니다. MIM 구조 또한 손실이 적고, 안정적인 성능을 제공하는 특성을 가지고 있어서 고주파 application에서 널리 사용되는 cap입니다.
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