반도체 커패시터(MOSCAP, Poly Silicon CAP)
안녕하세요? 오늘은 반도체의 다양한 커패시터 종류에 대해 알아보도록 하겠습니다.
다양한 구조의 Capacitor들이 있지만 여기서는 MOSCAP, PolySilicon CAP에 대해 알아보겠습니다.
각 이름에서 CAP은 Capacitor를 의미하고, 그 앞에 있는 명들이 Capacitor의 구조 또는 물질을 설명한다고 보시면 됩니다.
우선 MOSCAP에 대해 알아보겠습니다.
MOSCAP은 Metal-Oxide-Semiconductor Capacitor의 약자입니다.
이름에서도 볼 수 있다시피 Metal과 Oxide, Semiconductor가 상하부로 배치되어있는 구조입니다.
기본적인 구조는 다음과 같습니다.
- 금속(Metal) : 이 부분은 전극으로 작동하며, 전하를 운반하는 역할을 합니다.
- 산화물(Oxide) : 산화물은 전기를 잘 통하지 않는 절연체 역할을 하며 일반적으로 SiO2로 만들어집니다.
- 반도체(Semiconductor) : 실리콘으로 만들어진 반도체 층입니다.
다음으로 PolySilicon CAP에 대해 알아보겠습니다. Polysilicon cap은 MOSCAP에서 Metal 대신 Polysilicon을 썻다는 차이가 있습니다.
Polysilicon cap의 기본적인 구조는 다음과 같습니다.
- 폴리실리콘(polysilicon) 층 : 폴리시리콘은 실리콘을 다결정 구조로 산화해서 만들어진 재료입니다. MOSCAP에서 금속의 역할을 합니다.
-산화물층(SiO2) : 폴리실리콘과 전극 사이에서 전기를 통하지 않는 절연체로 작동합니다.
다음 시간에는 MOM, MIM CAP에 대해서도 알아보겠습니다.
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